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電容式感測器為例,該產品量測範圍0.05-10mm,最小解析度0.0375奈米,可多段同步量測,並可量測導體、半導體及非導體位移量與距離,最快取樣達50KHZ,典型應用範例包括晶元蝕刻鏡片對位、位移、震動;偏擺、厚度、臺南市官田區媽媽贈品定位。
展昭公司主辦的2016台北國際自動化工業大展8月31日至9?strong>彰化縣田尾鄉媽媽贈品?日在南港展覽館登場,奈米趨勢科技現場展出德國MICRO-EPSIlON系列位移感測器。
在未來的科技領域中,透過奈米技術及觀點可以解決大部份現有的技術瓶頸。德國MICRO-EPSIlON公司專精於精密位移感測器的研發與製造,產品有雷射、渦電流、電容式、共焦式、拉線式,屏東縣滿州鄉媽媽贈品解析度最小至宜蘭縣大同鄉媽媽贈品0.001奈米(nm),系列產品可應用於精密機械、光學、電子業各種需要精密位移測量需求的產業。
此次展出的另一項光譜共焦式量測系統,量測範圍自0.3-30mm,最小解析度10奈米(nm),最小測量點直徑6微米,可測量任何表面、反射面、液面,最快取樣速度達70KHZ,典型範例包括量測玻璃或鏡面表面、精密3D輪廓掃描、透明材料可從單面做厚度測量。
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